熱式質量流量計の測定精度は、機器のモデル、流体の種類、流量範囲、設置条件など、さまざまな要因によって影響を受けます。一般的には、読み値の±0.5%～±5%の範囲内に収まりますが、具体的なシナリオは以下のとおりです。
- 高精度モデル：研究室、精密産業制御などに適しています。校正された流量範囲内の清浄ガス（空気、窒素など）の場合、精度は読み値の±0.5%～±1%に達し、一部のハイエンド製品では±0.2%にまで達します。
- 産業用汎用モデル：従来のプロセス監視に使用され、精度は概ね読み値の±1%～±2%で、天然ガスやプロセスガスなどの一般的な流体に適用可能です。
- 特殊な条件下：低速で高粘度の液体、または少量の不純物を含む流体を測定する場合、精度は読み値の±2%～±5%に低下する可能性があります。流体の特性が校正媒体と大きく異なる場合（例えば、再校正を行わない場合）、誤差はさらに大きくなる可能性があります。
さらに、再現性（短期安定性）は通常、精度よりも優れており、一般的に±0.1%～±0.5%の範囲内であり、動的な流量監視においては精度の方が重要です。実際の用途では、精度を確保するために、流体の清浄度や温度範囲などの特定の動作条件に基づいて適切なモデルを選択する必要があります。
投稿日時：2025年7月1日